Invizo 6000のキーテクノロジーは、新開発のカウンター電極にあります。従来では困難であった広視野のイオン光学を実現すると共に、試料尖端の両側にレーザパルス照射が可能となり、従来の装置ではできなかった分析能力を可能としています。 Invizo 6000は、3次元アトムプローブでは最大の測定視野と、新型2段静電レンズの導入による高い質量分解能(MRP)維持を並立することに成功しました。また257.5nmの深紫外(DUV)レーザーモジュールを搭載、データの質の向上を劇的に向上させることができます。