新開発 電圧・レーザーパルスのハイブリッドモードが可能な3次元アトムプローブが初登場
LEAP6000XRは専用マイクロチップを活用した高度な自動分析機能のため、分析の歩留まり改善と感度向上を実現しています。 3次元アトムプローブの測定時、パルス印加時以外に生じる定常的な電界蒸発が質量スペクトルのバックグラウンドの原因となります。CAMECAは電界パルスとレーザパルスを試料に同時に加える測定モードを開発、このハイブリッドモードによりバックグラウンドを大幅に抑えることに成功しました。
深紫外線レーザ照射により、測定の歩留まりと3次元データ再構成の精度の両方が改善。
電界パルスとレーザパルスを試料に同時に加える測定モード(VLP)により、元素の更なる高感度化並びにピーク同定が容易に。
完全自動分析機能により無人での測定が可能、早期の原価償却で費用対効果にも貢献。