カメカ独自のイオンガン／2次イオン引き出しの同軸レンズにより1次イオンを50nm以下まで絞り込むことができます。

大型マグネットを備えた2重収束セクタ磁場質量分析計により高感度、高質量分解能を実現しています。これにより、数十ppmの再現性で同位体比の測定を行うこともできます。

2次イオンの偏向マグネット内に7つの独立した可動式検出器を備えており、同時に7種類の2次イオンの検出ができます。これに加えて連続1次イオンビームが利用できるので高速検出が可能です。