NanoSIMS-HRは、カメカ独自のイオン光学設計により35nm以下の空間分解能かつ高感度で2次イオン像観察が可能なSIMS装置です。材料科学、地質学、宇宙化学、環境微生物学、あるいは、細胞生物学等の分野に利用されています。 大気非暴露で試料を装置に導入できるグローブボックスの連結、並びに生体試料等を乾燥させずに分析できるクライオ試料ステージの搭載が可能です。
カメカ独自のイオンガン／2次イオン引き出しの同軸レンズにより1次イオンを35nm以下まで絞り込むことができます。
大型マグネットを備えた2重収束セクタ磁場質量分析計により高感度、高質量分解能を実現しています。これにより、数十ppmの再現性で同位体比の測定を行うこともできます。
2次イオンの偏向マグネット内に7つの独立した可動式検出器を備えており、同時に7種類の2次イオンの検出ができます。これに加えて連続1次イオンビームが利用できるので高速検出が可能です。
生体試料等を乾燥させずに分析できるクライオ試料ステージの搭載が可能です。 また、水を含む試料も液体窒素温度迄冷却することによりそのままの形で分析ができます。
