ダイナミックSIMS(２次イオン質量分析)/3次元アトムプローブなどの基礎的な講座をご覧ください。
SIMS基礎講座
- SIMS分析の基礎(1) SIMSとは？
- D-SIMS（ダイナミックSIMS）の分析手法、原理について
ダイナミックSIMSによる高感度 元素分析
- ダイナミックSIMSによる高感度 元素分析、TOF-SIMSとの相違点
3次元ナノ構造解析手法 - アトムプローブ
- TEM/STEMの課題とそれを解決する3次元アトムプローブ
